Defektreduzierung durch Kontrolle des Aspektverhältnisses

EP2062290 Art B1 28. August 2019

Anmelder: Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd., Amberwave Systems Corporation 🇹🇼

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2062290
Aktenzeichen
EP07837902
Anmeldetag
7. September 2007
Veröffentlichung
28. August 2019
Erteilung
28. August 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.
Amberwave Systems Corporation
Land
🇹🇼 Taiwan
🇹🇼 Taiwan Semiconductor Manufacturing

Taiwan Semiconductor Manufacturing (TSMC) ist der weltweit größte reine Halbleiter-Auftragsfertiger mit Sitz in Hsinchu, Taiwan. Der weit überwiegende Teil des Patentportfolios betrifft Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Datenspeicherung und Nachrichtentechnik. Anmeldungen laufen durchgehend von 2000 bis 2022.

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