Metallorganischer chemischer Dampfabscheidungsreaktor

EP2062996 Art A3 11. August 2010

Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2062996
Aktenzeichen: EP08019531
Anmeldetag: 7. November 2008
Veröffentlichung: 11. August 2010
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/34H01L21/00C23C16/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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