Einrichtung und Verfahren zur Messung der Abmessung eines Elektronenstrahls
EP2063221
Art A1
27. Mai 2009
Anmelder: Advantest Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2063221
- Aktenzeichen
- EP07806315
- Anmeldetag
- 30. August 2007
- Veröffentlichung
- 27. Mai 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B15/00G03F1/08H01J37/20H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Advantest Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Advantest
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.
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Kanzlei
Tetzner & Partner mbB
München, Deutschland
Tetzner & Partner mbB ist eine Münchner Patent- und Rechtsanwaltskanzlei, die seit 1962 zu Patentrecht, Markenrecht und weiteren Bereichen des gewerblichen Rechtsschutzes berät und Mandanten als European Patent and Trademark Attorney vertritt.
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