Vorrichtung und Verfahren zur Trockenätzung
EP2063462
Art A1
27. Mai 2009
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2063462
- Aktenzeichen
- EP07806775
- Anmeldetag
- 5. September 2007
- Veröffentlichung
- 27. Mai 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3065C01B33/12C03C15/00H03H3/02H03H3/08H05H1/46
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
444 Patente in unserer Datenbank