Verfahren zur Abscheidung eines Rutheniumhaltigen Films

EP2066825 Art A1 10. Juni 2009

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2066825
Aktenzeichen
EP06793754
Anmeldetag
22. September 2006
Veröffentlichung
10. Juni 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/18C23C16/40C07F17/02C07F15/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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