Verfahren zur Formung einer Folie und Vorrichtung zur Formung einer Folie

EP2067875 Art A1 10. Juni 2009

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2067875
Aktenzeichen: EP08711581
Anmeldetag: 19. Februar 2008
Veröffentlichung: 10. Juni 2009
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/16H01L21/285C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von