ALD- oder CVD-Verfahren zur Herstellung von Germanium-Antimon-Tellurium-Schichten

EP2067876 Art B1 21. September 2011

Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2067876
Aktenzeichen
EP08170145
Anmeldetag
27. November 2008
Veröffentlichung
21. September 2011
Erteilung
21. September 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/30C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Air Products and Chemicals, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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