Teilchenoptischer Korrektor für axialen und ausseraxialen Strahlengang

EP2068344 Art B1 21. Oktober 2015

Anmelder: Ceos Corrected Electron Optical Systems GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2068344
Aktenzeichen
EP08020365
Anmeldetag
22. November 2008
Veröffentlichung
21. Oktober 2015
Erteilung
21. Oktober 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/153H01J37/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ceos Corrected Electron Optical Systems GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Weber, Walter Heidelberg, Deutschland
50
Patente gesamt
15
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Medizintechnik & Gesundheit Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verpackungs- & Fördertechnik Elektrische Energietechnik Landwirtschaft & Nahrungsmitteltechnik
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