Verfahren zur Herstellung von Fluoralkohol, fluoriertes Monomer, Polymer, Resistzusammensetzung und Strukturierungsverfahren

EP2070901 Art B1 22. Dezember 2010

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2070901
Aktenzeichen
EP08021787
Anmeldetag
31. Januar 2007
Veröffentlichung
22. Dezember 2010
Erteilung
22. Dezember 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C07C29/136C07C31/42C07C31/44G03F7/004C08F220/24C08F22/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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