Vakuumfolienvorrichtung mit Aufnahme

EP2071051 Art B1 31. August 2016

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2071051
Aktenzeichen
EP07828671
Anmeldetag
28. September 2007
Veröffentlichung
31. August 2016
Erteilung
31. August 2016
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/24C23C14/04B05C1/08B41F7/26C23C14/56B41F31/00B41F31/15
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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