Mobilkörperantriebssystem und Mobilkörperantriebsverfahren, Strukturerzeugungsvorrichtung und Verfahren, Belichtungsvorrichtung und Verfahren, Bauelementeherstellungsverfahren und Entscheidungsverfahren

EP2071611 Art B1 1. Mai 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2071611
Aktenzeichen: EP07806512
Anmeldetag: 31. August 2007
Veröffentlichung: 1. Mai 2019
Erteilung: 1. Mai 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G01B11/00G01B11/26G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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