Mobilkörperantriebsverfahren, Mobilkörperantriebssystem, Strukturerzeugungsverfahren und Vorrichtung, Belichtungsverfahren und Vorrichtung und Bauelementeherstellungsverfahren

EP2071612 Art B1 4. Oktober 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2071612
Aktenzeichen: EP07806536
Anmeldetag: 31. August 2007
Veröffentlichung: 4. Oktober 2017
Erteilung: 4. Oktober 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01B11/00G01B11/30H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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