Wässrige Dispersion zum Chemischen und Mechanischen Polieren und Verfahren zum Chemischen und Mechanischen Polieren von Halbleiterbauelementen

EP2071615 Art B1 18. Juli 2012

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2071615
Aktenzeichen: EP07828549
Anmeldetag: 27. September 2007
Veröffentlichung: 18. Juli 2012
Erteilung: 18. Juli 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02H01L21/304B24B37/00C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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