Verfahren zur Behandlung von Germaniumoberflächen und dabei verwendete Lösungen

EP2072994 Art A1 24. Juni 2009

Anmelder: Soitec, S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies, Soitec S.A. 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2072994
Aktenzeichen
EP07291590
Anmeldetag
21. Dezember 2007
Veröffentlichung
24. Juni 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G01N1/32// H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
Soitec S.A.
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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