Neuartige Verbindung und Verfahren zu ihrer Herstellung, Säurenerzeuger, Resistzusammensetzung und Verfahren zur Bildung eines Resistmusters

EP2073060 Art B1 24. August 2016

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2073060
Aktenzeichen
EP08172244
Anmeldetag
19. Dezember 2008
Veröffentlichung
24. August 2016
Erteilung
24. August 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/039G03F7/038G03F7/004C08K5/42C07C309/17C07C381/12C07D333/46C07D493/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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