Lineare Elektronenquelle und deren Anwendung für die Aufladung von Folien

EP2073249 Art B1 13. Juni 2012

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2073249
Aktenzeichen
EP07024960
Anmeldetag
21. Dezember 2007
Veröffentlichung
13. Juni 2012
Erteilung
13. Juni 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/077H01J37/305C23C14/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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