Verfahren zur Herstellung einer Elektronischen Vorrichtung Mithilfe eines Plasmareaktor-Verarbeitungssystems

EP2073253 Art A1 24. Juni 2009

Anmelder: Omron Corporation, Tohoku University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2073253
Aktenzeichen: EP07829673
Anmeldetag: 12. Oktober 2007
Veröffentlichung: 24. Juni 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065B01J19/08H01L21/31C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Omron Corporation
Tohoku University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Omron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Kyoto. Omron entwickelt Automatisierungstechnik, Steuerungen, Sensoren und Robotik für die Industrie sowie elektronische Bauteile und medizintechnische Geräte.

6.706 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

2.158 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von