Siliciumvorstufen und Verfahren zur Chemischen Gasphasenabscheidung (cvd) Siliciumhaltiger Filme bei Niedrigen Temperaturen
EP2074129
Art A1
1. Juli 2009
Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2074129
- Aktenzeichen
- EP07826611
- Anmeldetag
- 1. Oktober 2007
- Veröffentlichung
- 1. Juli 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07F7/08C07F7/10C23C16/00
Abstract
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Anmelder
- Firma
- L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Air Liquide
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
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Conan, Philippe Claude
Paris, Frankreich
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