Fluoriniertes Monomer mit zyklischer Struktur, Herstellungsverfahren, Polymer, Fotolackzusammensetzung und Strukturierungsverfahren

EP2075247 Art A1 1. Juli 2009

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2075247
Aktenzeichen
EP09000546
Anmeldetag
28. Oktober 2005
Veröffentlichung
1. Juli 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C07D307/20C07D319/06C07D319/08C07D309/10C08F16/00G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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