Halbleitervorrichtung mit leitfähigen Strukturen und planarisierter Oberfläche

EP2075825 Art A1 1. Juli 2009

Anmelder: IMEC, Interuniversitair Microelectronica Centrum vzw (IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2075825
Aktenzeichen
EP08150920
Anmeldetag
31. Januar 2008
Veröffentlichung
1. Juli 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/321H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
Interuniversitair Microelectronica Centrum vzw (IMEC)
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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