Verfahren zur Herstellung eines Halbleiter-auf-Isolator-Substrats, das eine Anreicherungsetappe mit lokalisiertem Germanium umfasst

EP2075826 Art B1 7. August 2013

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, Commissariat à l'Energie Atomique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2075826
Aktenzeichen
EP08172510
Anmeldetag
22. Dezember 2008
Veröffentlichung
7. August 2013
Erteilung
7. August 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/321H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Commissariat à l'Energie Atomique
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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