Methode zur Justage und zum Bonding von Teilen und ein Bauteil aus justierten und gebondeten Teilen

EP2075832 Art B1 15. September 2010

Anmelder: IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM vzw (IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2075832
Aktenzeichen
EP08150789
Anmeldetag
29. Januar 2008
Veröffentlichung
15. September 2010
Erteilung
15. September 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/98H01L21/60H01L25/065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM vzw (IMEC)
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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