Verfahren zum Scheiden eines Wafers mit darauf geformten Halbleiterelementen und dazugehörendes Bauteil

EP2075840 Art B1 27. August 2014

Anmelder: Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd., SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2075840
Aktenzeichen: EP08022051
Anmeldetag: 18. Dezember 2008
Veröffentlichung: 27. August 2014
Erteilung: 27. August 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L27/146H01L21/78H01L21/77

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd.
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Semiconductor Energy Laboratory

Japanisches Forschungsunternehmen mit Sitz in Atsugi. Semiconductor Energy Laboratory (SEL) forscht an Halbleitertechnologien, Flüssigkristall- und OLED-Displays sowie Dünnschichttransistoren.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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