Vorrichtung mit einer Rotierenden Verunreinigungsfalle
EP2076818
Art B1
23. Dezember 2009
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2076818
- Aktenzeichen
- EP07808582
- Anmeldetag
- 17. September 2007
- Veröffentlichung
- 23. Dezember 2009
- Erteilung
- 23. Dezember 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20F16C32/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Van den Hooven, Jan
Veldhoven, Niederlande
677
Patente gesamt
18
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hatzmann, Martin
NoneDen Haag