Verfahren zur Bestimmung der Punktdefektverteilung eines Siliciumeinkristallstabs

EP2077346 Art B1 26. September 2012

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2077346
Aktenzeichen
EP09001440
Anmeldetag
17. Oktober 2003
Veröffentlichung
26. September 2012
Erteilung
26. September 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C30B29/06G01N27/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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