Verfahren zur Steuerung der Elektronenstrahlfokussierung einer Pierce-Elektronenkanone und Steuereinrichtung dafür

EP2077574 Art B1 17. Juni 2015

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

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🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

Albutt, Anthony John London, Großbritannien

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