Siliziumstruktur mit einer Öffnung mit Hohem Seitenverhältnis, Verfahren zur Herstellung der Siliziumstruktur, Vorrichtung zur Herstellung der Siliziumstruktur, Programm zur Herstellung der Siliziumstruktur und Verfahren zum Herstellen einer Ätzmaske für die Siliziumstruktur
Anmelder: Sumitomo Precision Products Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2077577
- Aktenzeichen
- EP07807566
- Anmeldetag
- 19. September 2007
- Veröffentlichung
- 8. Juli 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Sumitomo Precision Products Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
Sumitomo Precision Products ist ein japanischer Hersteller von Präzisionskomponenten mit Sitz in Amagasaki, der zur Sumitomo-Unternehmensgruppe gehört und unter anderem Fahrwerke für Flugzeuge sowie Wärmetauscher fertigt. Das Patentportfolio verteilt sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente, Kühltechnik und Mess- und Prüftechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.
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