Entfernung von Verunreinigungen von Halbleiterbauelementeschichten
EP2078307
Art B1
25. März 2015
Anmelder: IMEC, UMICORE, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2078307
- Aktenzeichen
- EP07847107
- Anmeldetag
- 2. November 2007
- Veröffentlichung
- 25. März 2015
- Erteilung
- 25. März 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/322
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
UMICORE
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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🇩🇪
Umicore
Belgisches Materialtechnologie- und Recyclingunternehmen mit deutschem Verwaltungssitz, spezialisiert auf Edelmetalle, Katalysatoren und Batteriematerialien.
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Fachgebiete
Vertreten von
Bird, Ariane
Heverlee, Belgien
622
Patente gesamt
31
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Kirkpatrick
Kirkpatrick · La Hulpe