Verfahren und Vorrichtung zur Verhinderung galvanischer Korrosion bei der Halbleiterverarbeitung

EP2079099 Art B1 16. September 2015

Anmelder: IMEC, Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D, Katholieke Universiteit Leuven, K.U. Leuven R&D, Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2079099
Aktenzeichen
EP08150201
Anmeldetag
11. Januar 2008
Veröffentlichung
16. September 2015
Erteilung
16. September 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D
Katholieke Universiteit Leuven, K.U. Leuven R&D
Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC)
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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🇧🇪 Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D

Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D ist die Technologietransfereinrichtung der belgischen Universität Leuven. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik, Pharma-/Biotechnologie und organische Chemie, ergänzt durch Mess- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen von 2004 bis 2021 betreffen unter anderem Diagnostik und Biomarker für die Tumortherapie.

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