Verfahren und Vorrichtung zur Verhinderung galvanischer Korrosion bei der Halbleiterverarbeitung
Anmelder: IMEC, Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D, Katholieke Universiteit Leuven, K.U. Leuven R&D, Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2079099
- Aktenzeichen
- EP08150201
- Anmeldetag
- 11. Januar 2008
- Veröffentlichung
- 16. September 2015
- Erteilung
- 16. September 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/02
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC
Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D
Katholieke Universiteit Leuven, K.U. Leuven R&D
Interuniversitair Microelektronica Centrum (IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D ist die Technologietransfereinrichtung der belgischen Universität Leuven. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik, Pharma-/Biotechnologie und organische Chemie, ergänzt durch Mess- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen von 2004 bis 2021 betreffen unter anderem Diagnostik und Biomarker für die Tumortherapie.
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