Verfahren zur Bearbeitung einer Festen Oberfläche mit einem Gascluster-Ionenstrahl

EP2079103 Art A1 15. Juli 2009

Anmelder: Japan Aviation Electronics Industry, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2079103
Aktenzeichen
EP07831192
Anmeldetag
30. Oktober 2007
Veröffentlichung
15. Juli 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/302H01L21/033H01L21/308
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Japan Aviation Electronics Industry, Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Japan Aviation Electronics Industry

Japanischer Hersteller elektronischer Steckverbinder und Sensoren mit Sitz in Tokio, mehrheitlich im Besitz des Elektronikkonzerns Alps Alpine.

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