Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP2081086
Art B1
2. Januar 2013
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2081086
- Aktenzeichen
- EP09158673
- Anmeldetag
- 5. November 2001
- Veröffentlichung
- 2. Januar 2013
- Erteilung
- 2. Januar 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B17/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Slenders, Petrus Johannes Waltherus
Eindhoven, Niederlande
244
Patente gesamt
17
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Slenders, Petrus J. W
NoneEindhoven