Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP2081086 Art B1 2. Januar 2013

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2081086
Aktenzeichen
EP09158673
Anmeldetag
5. November 2001
Veröffentlichung
2. Januar 2013
Erteilung
2. Januar 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G02B17/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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