Doppelbeschichtungsvorrichtung mit einer Prozesskammer

EP2081212 Art B1 23. März 2016

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2081212
Aktenzeichen
EP08100564
Anmeldetag
16. Januar 2008
Veröffentlichung
23. März 2016
Erteilung
23. März 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Kanzlei
LermerRaible Patent- u. Rechtsanwalts PartGmbB München, Deutschland

Geführt von Dipl.-Phys. Christoph Lermer und Dipl.-Ing. Thilo Raible, beide mit Zweitkarrieren in Halbleiter- beziehungsweise Elektrotechnikindustrie. In der Münchner Ludwigsvorstadt ansässig, berät die Kanzlei zu Patent-, Marken-, Wettbewerbs- und Kartellrecht mit weltweitem Netzwerk.

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