Verfahren zur Abscheidung eines Dünnen Films aus einer Metalllegierung auf einem Substrat und Metalllegierung in Dünnfilmform
EP2082074
Art A2
29. Juli 2009
Anmelder: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-, Université d'Orléans, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS), Universite d'Orleans 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2082074
- Aktenzeichen
- EP07820102
- Anmeldetag
- 10. September 2007
- Veröffentlichung
- 29. Juli 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/16C23C14/14C30B23/02
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-
Université d'Orléans
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
Universite d'Orleans - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
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Regimbeau · Rennes