System und Verfahren mit einem Partikelfänger/-Filter zur Rückführung eines Verdünnungsgases

EP2082077 Art A2 29. Juli 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2082077
Aktenzeichen: EP07842916
Anmeldetag: 20. September 2007
Veröffentlichung: 29. Juli 2009
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/00H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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