Interferometrischer Optischer Positionskodierer mit Räumlicher Filterung von Beugungsordnungen für Verbesserte Genauigkeit

EP2082118 Art B1 7. Oktober 2015

Anmelder: GSI Group Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2082118
Aktenzeichen
EP07813884
Anmeldetag
8. August 2007
Veröffentlichung
7. Oktober 2015
Erteilung
7. Oktober 2015
Rechtsraum
EP
IPC
F01B11/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
GSI Group Corporation
Land
🇺🇸 USA

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