Strahlungssystem und Lithographische Vorrichtung damit

EP2082289 Art A2 29. Juli 2009

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Koninklijke Philips N.V., Koninklijke Philips Electronics N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2082289
Aktenzeichen
EP07808590
Anmeldetag
25. September 2007
Veröffentlichung
29. Juli 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Netherlands B.V.
Koninklijke Philips N.V.
Koninklijke Philips Electronics N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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🇳🇱 Philips

Niederländisches Technologieunternehmen mit Sitz in Amsterdam, spezialisiert auf Medizintechnik, Diagnosegeräte, Patientenüberwachung sowie Gesundheits- und Wellnessprodukte.

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