Verfahren und Vorrichtung zum Strukturieren eines strahlungsempfindlichen Materials

EP2083329 Art A3 3. Juli 2013

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2083329
Aktenzeichen: EP09000644
Anmeldetag: 19. Januar 2009
Veröffentlichung: 3. Juli 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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