Verfahren und Vorrichtung zur Epitaktischen Abscheidung von Einkristallinen Iii-V Halbleiter Material unter Verwendung von Galliumtrichlorid

EP2084304 Art B1 26. Juni 2013

Anmelder: Soitec, S.O.I. TEC Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2084304
Aktenzeichen
EP07871489
Anmeldetag
15. November 2007
Veröffentlichung
26. Juni 2013
Erteilung
26. Juni 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C30B29/40C30B25/02C23C16/30C23C16/44C23C16/455C30B25/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
S.O.I. TEC Silicon on Insulator Technologies
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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🇫🇷 S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies

S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies war ein französischer Hersteller von Silizium-auf-Isolator-Wafern für die Halbleiterindustrie, das heutige Unternehmen firmiert als Soitec. Der Patentbestand konzentriert sich fast ausschließlich auf Halbleiterbauelemente und Waferbondverfahren.

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