Substrathaltevorrichtung und Substratpoliervorrichtung
EP2085181
Art A1
5. August 2009
Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2085181
- Aktenzeichen
- EP09005308
- Anmeldetag
- 30. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 5. August 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EBARA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
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Vertreten von
Wagner, Karl H
München, Deutschland
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