Ablagerungsverfahren für eine Gassperrschicht

EP2085495 Art B1 23. April 2014

Anmelder: FUJIFILM Corporation, Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2085495
Aktenzeichen: EP09001304
Anmeldetag: 30. Januar 2009
Veröffentlichung: 23. April 2014
Erteilung: 23. April 2014
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/34C23C16/509H01L51/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: FUJIFILM Corporation
Fujifilm Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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