Linienbreitenmessverfahren, Bilderzeugungs-Statusdetektionsverfahren, Justierverfahren, Belichtungsverfahren und Bauelementeherstellungsverfahren

EP2085741 Art A1 5. August 2009

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2085741
Aktenzeichen: EP07828672
Anmeldetag: 28. September 2007
Veröffentlichung: 5. August 2009
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/02G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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