Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung unter Verwendung eines Vierfachschichtlaminats

EP2085823 Art B1 16. Januar 2013

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2085823
Aktenzeichen: EP07829709
Anmeldetag: 12. Oktober 2007
Veröffentlichung: 16. Januar 2013
Erteilung: 16. Januar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11G03F7/075G03F7/09H01L21/033H01L21/311H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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