Verfahren zur Beschichtung eines Substrats und Beschichtungsanlage
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2086033
- Aktenzeichen
- EP08101176
- Anmeldetag
- 31. Januar 2008
- Veröffentlichung
- 5. August 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L51/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Fachgebiete
Geführt von Dipl.-Phys. Christoph Lermer und Dipl.-Ing. Thilo Raible, beide mit Zweitkarrieren in Halbleiter- beziehungsweise Elektrotechnikindustrie. In der Münchner Ludwigsvorstadt ansässig, berät die Kanzlei zu Patent-, Marken-, Wettbewerbs- und Kartellrecht mit weltweitem Netzwerk.