Optisches Element, Belichtungseinheit damit und Prozess zur Bauelementeproduktion

EP2087510 Art A1 12. August 2009

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2087510
Aktenzeichen: EP07829707
Anmeldetag: 12. Oktober 2007
Veröffentlichung: 12. August 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G02B5/08G03F7/20G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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