Oberflächenbehandlung und Passivierung von Aigan/gan Hemt

EP2087511 Art B1 18. März 2015

Anmelder: IMEC, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2087511
Aktenzeichen
EP07846781
Anmeldetag
20. November 2007
Veröffentlichung
18. März 2015
Erteilung
18. März 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/335
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
Katholieke Universiteit Leuven
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 Katholieke Universiteit Leuven

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