Verfahren zur Erhitzung oder Reinigung einer Materialbahn oder einer Folie

EP2088612 Art A1 12. August 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2088612
Aktenzeichen: EP09161581
Anmeldetag: 21. Dezember 2007
Veröffentlichung: 12. August 2009
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/077H01J37/305C23C14/30G21K5/00H05B7/00C23C14/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von