Vorrichtung zur Reinigung eines Halbleiterwafers

EP2089186 Art B1 6. Juli 2011

Anmelder: Corning Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2089186
Aktenzeichen
EP08767884
Anmeldetag
27. Mai 2008
Veröffentlichung
6. Juli 2011
Erteilung
6. Juli 2011
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Corning Incorporated
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Corning

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.

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