Verfahren zur Herstellung einer Mikrobearbeiteten Vorrichtung
EP2089311
Art A2
19. August 2009
Anmelder: IMEC, ASML Netherlands B.V. 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2089311
- Aktenzeichen
- EP07847091
- Anmeldetag
- 31. Oktober 2007
- Veröffentlichung
- 19. August 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
ASML Netherlands B.V. - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Bird, William Edward
Heverlee, Belgien
884
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31
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19
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