Verfahren zur Herstellung einer Mikrobearbeiteten Vorrichtung
EP2089311
Art A2
19. August 2009
Anmelder: IMEC, ASML Netherlands B.V. 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2089311
- Aktenzeichen
- EP07847091
- Anmeldetag
- 31. Oktober 2007
- Veröffentlichung
- 19. August 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
ASML Netherlands B.V. - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
Bird, William Edward
Heverlee, Belgien
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