Verstärkungseinstellung eines Reglers für Massendurchflusssteuerungen
EP2089679
Art B1
5. September 2018
Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2089679
- Aktenzeichen
- EP07812844
- Anmeldetag
- 12. Juli 2007
- Veröffentlichung
- 5. September 2018
- Erteilung
- 5. September 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01F1/68G01F15/00G01F25/00G05B13/04G05D7/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS Instruments, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
425 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Sharples, Andrew John
London, Großbritannien
118
Patente gesamt
17
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Rickard, David John
NoneLondon
-
Hill, Justin John
NoneLondon