Beweglicher Phasenschritt-Mikrospiegel mit einem Mehrschichtigen Substrat und Verfahren zu Seiner Herstellung

EP2089773 Art B1 16. November 2011

Anmelder: Micronic Mydata AB, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., MICRONIC LASER SYSTEMS AB, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V. 🇸🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2089773
Aktenzeichen: EP07856289
Anmeldetag: 28. November 2007
Veröffentlichung: 16. November 2011
Erteilung: 16. November 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Micronic Mydata AB
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
MICRONIC LASER SYSTEMS AB
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V.
Land: 🇸🇪 Schweden

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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